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TSMC가 2나노 성능 비밀로 꼽은 공정...배선 식각이 다시 주목받는 이유
✅ TSMC가 2나노 성능 비밀로 꼽은 공정...배선 식각이 다시 주목받는 이유
https://www.ddaily.co.kr/page/view/2025120913513547711
📌 왜 갑자기 ‘배선 식각’이 중요해졌나?
과거에는 트랜지스터 성능이 칩 성능을 좌우 → 절연체 식각 중심
AI 시대엔 트랜지스터보다 ‘배선(Interconnect)’이 병목
수십억 개 소자를 얼마나 빨리 연결하느냐가 성능을 결정
TSMC가 N2 성능 향상 핵심으로 BEOL 금속 배선 개선을 직접 언급
📌 전도체 식각(금속 식각) 난이도 급상승
Cu·W·Co 등 다양한 금속을 깊고 가는 HAR 구조로 깎아야 함
금속만 선택적으로 식각 + 절연체 손상 최소화 → 고난도 공정
층이 수십 개라 위·아래 라인 정렬까지 정교하게 맞춰야 함
‘후반 공정’이 아니라 칩의 속도·전력·신뢰성을 좌우하는 핵심 공정으로 격상
📌 장비 판도 변화: Lam ↑ / TEL ↓
절연체 식각 → 오랫동안 TEL 우위
전도체 식각 → Lam Research가 50%+ 점유율로 압도적 1위
2nm 이후 배선 투자 확대 = 전도체 식각 장비 수요 증가
→ Lam 영향력 커지고, TEL은 상대적으로 성장률 둔화 가능성
📌 정리
2nm 경쟁의 진짜 승부처는 트랜지스터가 아니라 ‘배선층(Beol)’
소재·배선 구조·식각 기술까지 아우르는 ‘연결성(Connectivity)’ 경쟁으로 구조 변화 중
소부장 관점에서는 금속 식각·HAR·신규 금속 레시피가 핵심 투자 테마로 부상할 흐름
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[테크다이브] TSMC가 2나노 성능 비밀로 꼽은 공정…배선 식각이 다시 주목받는 이유
식각의 막질과 형태. [사진=SK하이닉스] [디지털데일리 배태용기자] 반도체에서 식각(Etching)은 웨이퍼 위에 그려진 회로를 실제로 깎아내는 공정입니다. 설계도대로 필요 없는...
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