반도체 공정용 고압수소어닐링(HPA) 장비와 관련해 예스티와 특허분쟁 중인 HPSP가 특허침해소송에서 적극 대응하겠다고 밝혔다. 지난 18일 특허법원이 심결취소소송 3건을 모두 기각했지만, 앞서 HPSP가 2023년 서울중앙지방법원에 예스티를 상대로 제기한 특허침해소송...